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國科會貴儀

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場發射穿透式電子顯微鏡 (FE-TEM)
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場發射掃描/穿透式電子顯微鏡 (FE-S/TEM)
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奈米壓痕機械性質分析儀 (Nanoindenter)
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高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM-6500F)
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高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 (FESEM-7900F)
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進階型原子力顯微鏡(AFM)
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X光繞射儀(XRD)
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X射線光電子能譜儀 (XPS)

校內貴儀

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小角度X光散射儀 (SAXS)
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D2 PHASER 粉末X 光繞射儀 (D2 PHASER XRD)
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D2 PHASER XE-T 粉末X 光繞射儀 (D2 PHASER XE-T XRD)
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標準型原子力顯微鏡(AFM)
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冷凍切薄機
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高解析度共軛焦顯微拉曼光譜儀 (Raman)
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冷卻式觸控截面拋光儀(Cooling CP )