場發射穿透式電子顯微鏡 (FE-TEM)
儀器中文名稱：場發射穿透式電子顯微鏡
儀器英文名稱：Field Emission Gun Transmission Electron Microscope
儀器英文簡稱：FE-TEM
儀器設備說明：
- 購置時間：95年7月至96年3月
- 開放服務：97年7月
- 放置地點：工程一館142實驗室(E1-142 Lab)
- 廠牌型號：FEI Tecnai™ G2 F-20 S-TWIN
- 規格：
(1)加速電壓： 200 KV
(2)TEM分辨率：
高解析影像條件 A. Point Resolution：≦0.23nm (200 kV)
B. Lattice Resolution：≦0.1nm
成份與結構分析條件 3 nm
(3) 能量分散光譜儀 (EDS)：
(i)機型: EDAX
(ii)元素偵測範圍: B ~ U (原子序 5~92)
(iii)解析度: 133 eV
(4) 雙傾斜試片座的最大傾斜角度：α±30˚、β±20˚
服務項目：
針對不同類型的材料，提供高解析度的影像觀察及微區繞射分析。此外，也可進行樣品成分分析。
- 微結構觀察: 明視野、暗視野影像分析；高解析影像分析。
- 電子繞射分析。
- 元素定點定性及半定量成分分析。
- EDS搭配STEM的HAADF偵測器同步獲取影像和光譜訊號可進行光譜元素全畫面(full frame)、選區(selected area)和線掃描(line scan)等掃描分析模式；本機台目前此分析功能，偶會受環境因素影響，使電子束不穩而有無法正常分析的情形，因非屬常態，故本情形僅提供擬預約使用時之參考，仍需視使用當日電子束穩定情況而定。
樣本製備要求：
為減少儀器不必要的污染並確保系統穩定運作，本中心對試片種類及試片製備上有以下規定，凡未符合規定者，本單位有權拒絕受理。
˙預約使用本儀器者，請於預約時段前 7 天，主動且詳實填寫 【EM0000017504】（場發射槍穿透式電子顯微鏡 FE-TEM）儀器預約相關注意事項與樣品檢測申請表 每一欄位，並完成回傳確認後，才可進行委託操作流程；未依規定完成者，將取消該預約時段。
˙粉末樣品(奈米材料): 粉末或奈米材料滴附在鍍碳銅網後，請務必於80℃以上溫度烘乾至少24小時，並於乾燥箱或真空狀態下保存。若樣品放入機台後，導致真空度異常(真空讀值高於標準值Gun= 1，Column = 6，Camera < 30)，將立即中止實驗並取出樣品。
˙具磁性的樣品(凡含有Fe、Co、Ni等元素)禁用本機台。樣品替代製備方式:(粉末樣品-適用冷凍切薄機(Ultramicrotome)而塊材與薄膜樣品適用-場發射雙束型聚焦離子束顯微鏡(FIB))。
˙高分子樣品裂解溫度需達350℃以上，並需檢附TGA熱重分析數據。若樣品放入機台後，造成真空度異常(真空讀值高於標準值Gun = 1， Column = 6，Camera < 30)，將立即中止實驗並取出樣品。
收費標準：(依使用狀況調整)
開放服務對象:校內、校外學術單位及產業界。
儀器委託操作申請服務辦法
1.每月25日上午9點至國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統，預約下一個月時段。
線上預約網址: https://vir.nstc.gov.tw/
2. 取消預約請於5天前系統自行取消；否則酌收儀器時段基本費。
聯絡資訊：
- 儀器負責教授:施劭儒 教授
TEL:(02)2730-3716
E-mail: shao-ju.shih@mail.ntust.edu.tw - 儀器負責技術員:吳盈瑩 小姐
TEL:(02)2733-3141#7413
E-mail:ying22.wu@mail.ntust.edu.tw - 其他相關資訊:PDF下載
自行操作管理辦法(Tecnai TEM)