儀器中文名稱：高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 6500F

儀器英文名稱：Field Emission Scanning Electron Microscope 6500F

儀器英文簡稱：FESEM-6500F

儀器設備說明： 

• 購置時間：91 年
• 放置地點：工程一館 120 實驗室(E1-120 Lab)
• 廠牌型號：JEOL 6500F
• 規格：

 (1)加速電壓：0-30 KV

(2)解析度(SEI)：高解析影像條件1.5nm(15KV)

(3)放大倍率：10x~500

(4)影像輸出：燒錄數位影像紀錄

(5)能量分散光譜儀(EDS oxford)：元素偵測範圍:B~U(原子序5~92)，解析度:133eV

樣本製備要求：

• 不接受揮發性物質,有機物質.有毒物質.未固化之粉末試樣。
• 禁用磁性粉末材料。
• SEI 及 EDS 試片尺寸:直徑 25mm,高度 5mm；EBSP 試片尺寸:直徑 10mm,高度 2mm。
• 樣品保持清潔及乾燥，油汙及腐蝕液須清洗乾淨並烘乾。

收費標準：

開放服務對象：校內、校外學術單位及產業界

聯絡資訊：

• 儀器負責教授: 蔡孟霖 教授

TEL:(02)2737-6537

E-mail: mltsai@gapps.ntust.edu.tw

• 儀器負責技術員: 廖勝權 先生

TEL:(02)2733-3141#6435/#7375/#3793

E-mail: sclaiw@mail.ntust.edu.tw