儀器中文名稱：高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 6500F

儀器英文名稱：Field Emission Scanning Electron Microscope 6500F

儀器英文簡稱：FESEM-6500F

儀器設備說明： 

 

• 購置時間：91 年
• 放置地點：工程一館 120 實驗室(E1-120 Lab)
• 廠牌型號：JEOL 6500F
• 規格：

 (1)加速電壓：0-30 KV

(2)解析度(SEI)：高解析影像條件1.5nm(15KV)

(3)放大倍率：10x~500

(4)影像輸出：燒錄數位影像紀錄

(5)能量分散光譜儀(EDS oxford)：元素偵測範圍:B~U(原子序5~92)，解析度:133eV

樣本製備要求：

• 不接受揮發性物質,有機物質.有毒物質.未固化之粉末試樣。
• 禁用磁性粉末材料。
• SEI 及 EDS 試片尺寸:直徑 25mm,高度 5mm；EBSP 試片尺寸:直徑 10mm,高度 2mm。
• 樣品保持清潔及乾燥，油汙及腐蝕液須清洗乾淨並烘乾。

收費標準：

• 時段收費(使用國科會計畫預約)：

　　　1時段/3小時預約：基本費900元，每一時段以3小時計，未滿者亦以一時段計費。

• 分析收費：

​​​​​​​　　　EDS：半定量分析每件樣品加收30元。

• 非國科會時段採計時收費：校內每小時現金300元、校外每小時現金1,200元。

開放服務對象：校內、校外學術單位及產業界

每月 16 日上午 10 點起，國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統將開放次月時段預約。
線上預約網址：https://vir.nstc.gov.tw/

聯絡資訊：

• 儀器負責教授：蕭育生 教授

　　　電話：02-2737-6532

　　　信箱：yshsiao@mail.ntust.edu.tw

• 儀器負責技術員: 廖勝權 先生

　　　TEL:(02)2733-3141#6435/#7375

　　　E-mail: sclaiw@mail.ntust.edu.tw