儀器中文名稱 :進階型原子力顯微鏡

儀器英文名稱 : Atomic Force Microscope

儀器英文簡稱 : AFM

儀器設備說明 :

˙購置時間：110年2月

˙開放服務：111年1月

˙放置地點：工程一館145實驗室(E1-145 Lab)

˙廠牌型號：Bruker Dimension ICON

˙規格:

1.影像掃描解析度：1nm

2.掃描範圍：90 × 90 × 10μm

3.樣品載台：最大直徑210mm，厚度15mm

4.抗震外殼：主機外殼含氣浮式隔音防震平台

服務項目：

˙表面形貌及相圖(TappingMode、ScanAsyst Mode、Contact Mode)、機械性質( PeakForce QNM )、磁力顯微術(MFM Mode)、靜電力顯微術(EFM Mode)、表面電位(KPFM Mode)、導電顯微術 (C-AFM Mode)

樣本製備要求：

˙應先清洗或封裝以免造成污染，若有不合規定之試片，恕不服務。

˙樣品為粉末或有鬆動及脫落的情形，恕不服務。

˙樣品品質應自行處理完善，若因樣品問題而無法完成檢測，使用者需自負。

˙樣品限制

1.最大試片尺寸：200 mm × 200 mm，厚度< 10 mm

2.最大平面掃描範圍：90μm × 90μm

3.表面形貌最大高度落差或粗糙度< 5μm

4.機械特性量測:  因受限於探針現有規格，暫提供彈性膜量<2000MPa之測量，另委託者須對樣品的大約模量能有所瞭解，以利選擇適合探針，避免增加探針費用。

5.禁止量測揮發性及腐蝕性樣品

6.操作環境：大氣

收費標準：

開放服務對象：校內、校外學術單位及產業界

申請服務方式：

˙首次量測請與技術員聯絡，確認樣品量測可行性。

˙特殊項目(QNM、MFM、EFM、KPFM、C-AFM)請先與技術員聯絡，以確認量測時間。

˙預約請至科技部系基礎研究核心設施預約服務管理系統完成(https://vir.most.gov.tw/home/Index)。

注意事項

˙可自備符合機台使用之探針規格，或現場購買。

˙探針規格可參考布魯克官網訊息: https://www.brukerafmprobes.com/c-15-probes.aspx

˙數據存取可自備光碟或現場購買。

˙收費方式

1.委託操作為時段收費(3小時/時段)，不足1時段仍以全時段計費。

2.自行操作以實際使用時數計費。

2.探針為耗材，現場購買費用另計。

聯絡資訊：

˙儀器負責教授: 邱昱誠 副教授

TEL: (02)2737-6623

E-Mail: ycchiu@mail.ntust.edu.tw

˙儀器負責技術員: 洪嘉彬 先生

TEL: (02)2733-3141#6540、#3685

E-Mail: cbhung@mail.ntust.edu.tw