X射線光電子能譜儀 (XPS)
儀器中文名稱：X射線光電子能譜儀
儀器英文名稱：X-ray Photoelectron Spectroscopy
儀器英文簡稱：XPS
儀器設備說明：
●儀器購置時間：2021年10月
●開放服務時間：2022年04月
●放置地點：工程一館145實驗室(E1-145 Lab)
●廠牌型號： ULVAC-PHI. Inc. / PHI 5000 VersaProbe Ⅲ
規格:
1. X-ray光源：鋁Kα單光X光源系統
2. 能量解析度：對Ag 3d5/2 峰，半高寬≦0.5 eV
3. 分析面積：10 μm (圓形) ~ 1400 μm×1400 μm(矩形)
4. 分析室最佳真空度≒6.7×10-8 Pa
5. 歐傑電子槍：LaB6燈絲 (0.2~10 KV)，光束直徑≧100 nm
6. 氬離子槍：離子束能量調整範圍為 0.5keV-5 keV
7. 濺射離子槍：碳60 離子槍，最大加速電壓為20 kV
8. 雙射束源電荷補償系統：解析度在聚對苯二甲酸乙二酯中O=C-O C1s半高寬＜0.85 eV
服務項目：
A. X射線光電子能譜儀 (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)：
可對於物質表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描、元素影像掃描、縱深分析、角解析。
B. 掃描式歐傑能譜儀 (Auger electron spectroscopy, SAM)：
可對於微區表面進行定性及定量的化學分析，可得知相關元素鍵結狀態訊息和百分比的含量，基本功能有全能譜圖、單元素能譜圖、元素線掃描、元素影像掃描、縱深分析。
C. 紫外光電子能譜 (Ultraviolet photoelectron spectroscopy, UPS)：
利用紫外光照射樣品所激發出的光電子提供有關價帶的能級信息(如：VB,WF, EF)。
D. 低能量反光電子能譜 (Low Energy Inverse Photoemission Spectroscopy, LEIPS)：
通過將低能量電子束施加到樣品表面，以高分辨率和靈敏度及低樣品損壞檢測近紫外範圍內發射的光子確定未佔據能級的能量(如EA, CB)。與UPS圖譜結合，可得出能帶間隙。
樣品製備要求：
1. 樣品不得具有強磁性、揮發性、毒性及輻射性。
2.樣品尺寸：
I. XPS、AES : 面積小於6mm*6mm，高度不得超過6mm。
II.UPS、LEIPS : 面積需介於5mm*5mm - 6mm*6mm。 (建議樣品電阻值需<60Ω，或聯繫操作員)
3. 粉末樣品須事先與操作人員聯絡 (可代為製作樣品並酌收試片製作費或出借液壓打片機)
4. 樣品須自行前處理( 如烘乾、除水、研磨)，以利製備樣品和避免實驗過程中預抽時間過長。
5. 若無法在合理時間內(一般為30分鐘左右)降至預抽所需真空度(2.7x10-4 Pa)，則取消該次實驗 且就已操作的時間收取費用。
6. 樣品若不符合規定或是存有損害儀器之風險，則該次預約將被取消。
7. 若因申請人的樣品致使儀器汙染或損壞，則由該申請人負擔相關賠償責任。
收費標準
基本使用計費為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時以實際服務時數計費。(包含樣品處理、抽真空、開關機及數據處理的時間)。量測皆為以委託操作為主，並不提供數據分析。
開放服務對象：學術單位、產業界
預約方法：
1. 至國科會基礎研究核心設施服務管理系統(https://vir.nstc.gov.tw/Home/Index)以委託操作方式預約取得預約序號並至(https://reurl.cc/d7lkvM)下載臺科【ESCA003600】XPS樣品檢測申請單(NTUST-XPS Analysis Request Form)並回傳給操作員。
2.同一單位可預約至多4個序號。待委託工作完畢後，方可再次預約。
3.每序號送測樣品數不得超過5個，若有特殊因素可與操作員做詳細討論。
4.預約者應詳實填妥樣品檢測申請單，並請指導教授/主管簽核。
5. 樣品檢測申請單請於預約完成後一週內以Email、郵寄、親自送達E1-145實驗室給操作員。申請單請務必詳實填寫，若對檢測項目有任何疑問請主動與操作員聯繫。
6.待測樣品請於預定製備日前一日寄/送達。若未於期限內送達則取消該次預約。
7.取消預約請於預定分析日前三個工作天通知。
注意事項：
1.初次預約請先閱讀貴儀網頁介紹，並建議與操作人員聯繫。
2.進行微區分析時，委託人建議親自到場指定受測區，完成後不接受額外補測。
3.本儀器暫不開放校外自行操作。
4.樣品順序請依申請單上所填寫之順序排列，避免造成數據出錯。
5.樣品寄(送)達地點：
106335 臺北市大安區基隆路四段43號
國立臺灣科技大學 貴重儀器中心 E1-145
6.委託完成之樣品請自行取回或寄回。兩週內若未取回之樣品將視為廢棄物處理。
7.本中心不負責分析研判數據之工作，僅提供原始數據與轉檔。
8.由本儀器獲得之實驗數據僅針對該次送測樣品，不得用於商業廣告或當作法院證據。
9.最新XPS各項規則說明可至(https://reurl.cc/e3ZkMx)查閱。
聯絡資訊：
●儀器負責教授：
王丞浩 教授
TEL：02-2730-3715
E-mail：chwang@mail.ntust.edu.tw
●儀器操作員：
何如紘 小姐
TEL：(02)2733-3141 #5423
E-mail：hjh@mail.ntust.edu.tw
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