X射線光電子能譜儀 (XPS)
儀器中文名稱：X射線光電子能譜儀
儀器英文名稱：X-ray Photoelectron Spectrometer
儀器英文簡稱：XPS
儀器設備說明：
- 儀器購置時間：2021年10月
- 開放服務時間：2022年04月
- 放置地點：工程一館145實驗室(E1-145 Lab)
- 廠牌型號： ULVAC-PHI. Inc. / PHI 5000 VersaProbe Ⅲ
規格:
1.X-ray光源：鋁Kα單光X光源系統（Al Kα monochromatic X-ray source system）
2.能量解析度：對Ag 3d5/2 峰，半高寬<0.5 eV
3.分析面積：10 μm（圓形）~ 1400 μm×1400 μm（矩形）
4.分析室最佳真空度≒6.7×10-8 Pa
5.歐傑電子槍：LaB6燈絲（0.2~10 kV），光束直徑≧100 nm
6.氬離子槍（Ar+ Ion gun）：能量調整範圍為 0.5 keV - 5 keV
7. C60離子槍（C60 Ion gun）：最大加速電壓為20 kV
8.雙射束源電荷補償系統：解析度在聚對苯二甲酸乙二酯中O=C-O C1s半高寬＜0.85 eV
服務項目：
A.X射線光電子能譜儀（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS）：
可對物質表面進行定性及定量化學分析，獲得元素組成及化學態（chemical state）資訊，包括全能譜（survey spectrum）、單元素高解析譜（high-resolution spectrum）、元素線掃描、元素影像分析、縱深分析（depth profiling）及角解析分析（ARXPS）。
B.掃描式歐傑能譜（Auger electron spectroscopy, AES）：
可對材料表面進行高空間解析度之微區定性及定量元素分析，適用於表面元素分佈與組成研究；具備全譜分析、單元素分析、元素線掃描、元素影像分析及縱深分析等功能。
C.紫外光電子能譜（Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, UPS）：
以紫外光照射樣品，使已佔據電子態之電子逸出，並量測其動能分佈，用於分析材料之已佔據電子結構（如 VB、EF），並可求得功函數（WF）。
D.低能量反光電子能譜（Low Energy Inverse Photoemission Spectroscopy, LEIPS）：
以低能電子填入樣品未佔據電子態，並量測其輻射光子訊號，用於分析材料之未佔據電子結構（如 CB、LUMO）。
整合分析能力：
UPS 量測已佔據電子態（VB），LEIPS 量測未佔據電子態（CB），兩者結合可完整解析材料之能帶結構，進一步求得能帶間隙（band gap）及電子親和力（EA）。
樣品製備要求：
1.樣品不得具有強磁性、揮發性、毒性及放射性。
2.樣品尺寸要求如下：
- XPS、AES：面積小於 6 mm × 6 mm，高度不得超過 6 mm。
- UPS、LEIPS：面積需介於 5 mm × 5 mm 至 6 mm × 6 mm。（建議樣品電阻值 < 60 Ω，或事先與操作人員確認）
3.粉末樣品請事先與操作人員聯繫（XPS試片可代製並酌收費用；UPS/LEIPS試片須自行製備）。
4.樣品須完成必要之前處理（如烘乾、除水、研磨等），以確保製備順利並避免預抽時間過長。
5.若無法於合理時間內達到預抽所需真空度（9.5 × 10⁻⁵ Pa），本次實驗將予以取消，並依實際操作時間收取費用。
6.樣品若不符合規範或具有損害儀器之風險，本中心得取消該次預約。
7.若因申請人樣品造成儀器污染或損壞，相關修復及賠償責任由申請人負擔。
收費標準
基本使用計費為一時段(3小時)，如不足3小時以3小時做計算，超過3小時以實際服務時數計費。(包含樣品處理、抽真空、開關機及數據處理的時間)。量測皆為以委託操作為主，並不提供數據分析。
開放服務對象：學術單位、產業界
每月 1 日上午 9 點起，國科會基礎研究核心設施預約服務管理系統將開放次月時段預約。
線上預約網址：https://vir.nstc.gov.tw/
預約方法：
1.使用者應先至國科會基礎研究核心設施服務管理系統（https://vir.nstc.gov.tw/Home/Index），以「委託操作」方式完成預約並取得預約序號。
2.使用者須至指定連結（https://reurl.cc/d7lkvM）下載「【ESCA003600】XPS樣品檢測申請單（NTUST-XPS Analysis Request Form）」，並詳實填寫相關資料。
3.申請單應經指導教授／單位主管簽核後，回傳至儀器操作人員進行審核。
4.操作人員確認申請單內容無誤後，將以電子郵件通知送樣時間與分析時程。
注意事項：
一、樣品分析規範
1.進行微區分析時，建議委託人親自到場指定受測區域；分析完成後不接受額外補測。
2.樣品排列順序應依申請單所填寫順序放置，以避免數據錯誤。
二、申請文件繳交規範
1.XPS樣品檢測申請單應於完成預約後一週內繳交。
2.繳交方式如下：
(1) Email
(2) 郵寄
(3) 親送至 E1-145 實驗室
3.申請單內容須完整填寫，如有疑義應先與操作人員確認後再行送出。
三、樣品送達與取回規範
1.樣品送達時間依處理需求區分如下：
(1) 需進行XPS粉末樣品製備者，應依操作人員指定時間送達至貴重儀器中心 E1-145 實驗室。
(2)不需進行樣品製備者，應依操作人員指定時間送達；若有特殊情況，最晚應於預定分析日前一日中午前送達。
2.樣品寄／送達地址如下：
106335 臺北市大安區基隆路四段43號
國立臺灣科技大學 貴儀中心 E1-145 實驗室
3.如有特殊樣品處理或送樣需求，應事先聯繫儀器管理人員確認。
4.委測完成之樣品應由使用者自行取回或申請寄回。
5.樣品於分析完成後保存兩週，逾期未取回者將視為廢棄物處理。
四、預約與使用限制
同一單位同時最多可預約4個序號。
五、取消與異動規定
1.取消預約應於預定分析日前至少三個工作天通知操作人員。
六、數據使用與責任聲明
1.本中心僅提供原始數據及格式轉檔服務，不負責數據分析與研判。
2.由本儀器取得之實驗數據僅限於該次送測樣品使用，不得用於商業廣告或作為法律證據。
歡迎加入臺科大 XPS 社群
聯絡資訊：
- 儀器負責教授：王丞浩 教授
電話：02-2730-3715
- 儀器負責操作員：何如紘 小姐
電話：02-2733-3141 #5423
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