儀器中文名稱：高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 7900F

儀器英文名稱：Field Emission Scanning Electron Microscope 7900F

儀器英文簡稱：FESEM 7900F

儀器設備說明：

• 購置時間：107年
• 放置地點：工程一館120實驗室 (E1-120 Lab)
• 廠牌型號：JEOL 7900F
• 規格:

(1)加速電壓： 0-30 KV

(2)解析度(SEI) ：高解析影像條件 0.7 nm (15 KV)。

(3)放大倍率：×25 to ×1,000,000 

(4)影像輸出：燒錄數位影像紀錄。

(5)能量分散光譜儀 (EDS oxford ultim max 100)：元素偵測範圍:Be~U (原子序4~92)，解析度:127 eV。

(6)電子背向散射繞射儀 (EBSP oxford)：結晶方位分析 (依據菊池線分析)、微區晶相圖像、晶軸及反晶軸圖像。

(7)波長分散光譜儀 (WDS oxford )：元素偵測範圍:B~U (原子序5~92)。

樣本製備要求：

• 不接受揮發性物質,有機物質.有毒物質.未固化之粉末試樣；如為鑲埋物限用熱鑲埋。
• 禁用粉末材料。
• SEI 及 EDS 試片最大尺寸：直徑 25mm,高度 30mm；EBSP 試片尺寸:直徑 10mm,高度 10mm。WDS 試片最大尺寸：直徑 25mm,高度 5mm。
• 樣品保持清潔及乾燥，油汙及腐蝕液須清洗乾淨並烘乾。

收費標準：

開放服務對象：校內、校外學術單位及產業界

聯絡資訊：

• 儀器負責教授: 顏怡文 教授

TEL:(02)2737-6659

E-mail: ywyen@mail.ntust.edu.tw

• 儀器負責技術員: 廖勝權 先生

TEL:(02)2733-3141#6435/#7375/#3793

E-mail: sclaiw@mail.ntust.edu.tw