NANO

儀器中文名稱 : 奈米壓痕機械性質分析儀

儀器英文名稱 : Hysitron TI 980 TriboIndenter

儀器英文簡稱 :Nanoindenter

儀器設備說明 :

˙購置時間:105年12月

˙開放服務:106年4月

˙放置地點:工程一館145實驗室(E1-145 Lab)

˙廠牌型號:Hysitron TI 980 TriboIndenter

˙規格:

1.奈米壓痕模式

(1)力量加載方式:靜電壓驅動

(2)壓頭壓入樣品方式:垂直方向

(3)最大載荷:<10 mN

(4)載荷(力量)分辨率:≤1 nN

(5)位移測量方式:電容傳感器

(6)最大位移:≥5 μm

(7)位移分辨率:≤0.006 nm

(8)熱漂移:≤0.05 nm/s

2.奈米刮痕模式

(1)通過一個二維傳感器,加載和檢測橫縱向的力量和位移

(2)最大橫向載荷力:2 mN

(3)橫向載荷分辨率:<50 nN

(4)最大橫向位移:15μm

(5)橫向位移分辨率:<0.02 nm

(6)熱漂移:≤0.05 nm/s

服務項目:

1.量測奈米尺度下之硬度(Hardness)、簡化模數(Reduced modulus)、力相關曲線圖

2.表面形貌掃描(scanning probe microscope,SPM)、表面粗糙度(Roughness)

3.刮痕製作、摩擦係數、附著力、力相關曲線圖

4.磨耗測試(以刮一道或單一直線反覆式刮痕,提供磨耗深度數據)

5.Nano DMA

6.模量掃描成像

7.快速打點

 (備註:校內外及產業擬委託第4~7之項目,請先來電討論評估後再預約)

樣本製備要求:

˙首次使用者必須先來電說明實驗項目、成分、態樣、膜厚、表面粗糙度、試樣大小等,以利評估試片分析可行性。    

˙試片尺寸須大於 1 cm x 1 cm,高度小於 4cm。

˙壓痕測試為降低基材效應影響,膜愈厚愈佳。(建議膜厚>有效接觸深度÷10%。有效接觸深度將依探針實際之面積函數校正結果而定,須來電確認)

˙壓痕測試對於表面粗糙度很敏感,故試片表面須乾淨,且粗糙度越低者佳,粗糙度高者,建議應先拋光較平整。(建議粗糙度小於20nm較佳)

˙薄膜須有良好附著力,不能太輕易剝落或具黏性,避免損壞壓痕或刮痕針頭。

˙試片底部固定面須平整無突起,以確保能有效固定。

˙目前暫不提供硬度40GPa以上之材料量測(如含DLC成分)

收費標準:

開放服務對象:校內、校外學術單位及產業界

聯絡資訊:

˙儀器負責教授: 周育任教授

TEL: (02)2737-6492

E-Mail: yu-jen.chou @mail.ntust.edu.tw

˙儀器負責技術員: 洪嘉彬先生

TEL: (02)2733-3141#6540、#3685

E-Mail: cbhung@mail.ntust.edu.tw